Hangata e sebelisoang tlhahisong kapa lipatlisisong tsa mahlale, kamore e hloekileng ke tikoloho e laoloang e nang le boemo bo tlase ba litšila tse kang lerōle, likokoana-hloko tse tsamaeang moeeng, likaroloana tsa aerosol le mouoane oa lik'hemik'hale. Ha e le hantle, kamore e hloekileng e na le boemo bo laoloang ba tšilafalo bo boletsoeng ke palo ea likaroloana ka mithara ea cubic ka boholo ba likaroloana bo boletsoeng. Moea o potolohileng ka ntle tikolohong e tloaelehileng ea toropo o na le likaroloana tse 35,000,000 ka mithara ea cubic, 0.5 micron le bophara bo boholo, bo tsamaellanang le kamore e hloekileng ea ISO 9 e boemong bo tlase ka ho fetisisa ba litekanyetso tsa kamore e hloekileng.
Kakaretso ea Kamore e Hloekileng
Likamore tse hloekileng li sebelisoa hoo e ka bang indastering e 'ngoe le e 'ngoe moo likaroloana tse nyane li ka amang ts'ebetso ea tlhahiso hampe. Li fapana ka boholo le ho rarahana, 'me li sebelisoa haholo liindastering tse kang tlhahiso ea semiconductor, meriana, biotech, lisebelisoa tsa bongaka le saense ea bophelo, hammoho le tlhahiso ea ts'ebetso ea bohlokoa e tloaelehileng lifofaneng, optics, sesole le lefapha la matla.
Kamore e hlwekileng ke sebaka sefe kapa sefe se nang le dintho tse ka hare moo ho etswang ditokisetso tsa ho fokotsa tshilafatso ya dikarolwana le ho laola diparamente tse ding tsa tikoloho tse kang mocheso, mongobo le kgatello. Karolo ya bohlokwa ke sefe sa High Efficiency Particulate Air (HEPA) se sebediswang ho tshwara dikarolwana tse boholo ba 0.3 micron le tse kgolo. Moya wohle o tlisitsweng ka phaposing e hlwekileng o feta ka hara difilthara tsa HEPA, mme maemong a mang moo tshebetso e tiileng ya bohloeki e hlokahalang, difilthara tsa Ultra Low Particulate Air (ULPA) di a sebediswa.
Basebetsi ba kgethilweng ho sebetsa dikamoreng tse hlwekileng ba fumana koetliso e batsi thutong ya taolo ya tshilafatso. Ba kena le ho tswa ka phaposing e hlwekileng ka di-airlock, dishawara tsa moya le/kapa dikamore tsa ho apara diaparo, mme ba tlameha ho apara diaparo tse ikgethang tse etseditsweng ho tshwara ditshila tse hlahiswang ke letlalo le mmele ka tlhaho.
Ho latela sehlopha sa kamore kapa mosebetsi, liaparo tsa basebetsi li ka ba tse lekanyelitsoeng joalo ka liaparo tsa laboratori le matlooa a moriri, kapa tse pharaletseng joalo ka ha li koahetsoe ka lisutu tse ngata tsa mmutla tse nang le lisebelisoa tsa ho hema tse ikemetseng.
Liaparo tse hloekileng tsa kamore li sebelisetsoa ho thibela lintho hore li se ke tsa ntšoa 'meleng oa moapari le ho silafatsa tikoloho. Liaparo tse hloekileng tsa kamore ka botsona ha lia lokela ho ntša likaroloana kapa likhoele ho thibela tšilafalo ea tikoloho ke basebetsi. Mofuta ona oa tšilafalo ea basebetsi o ka senya ts'ebetso ea sehlahisoa indastering ea semiconductor le ea meriana 'me o ka baka tšoaetso e ts'oanang pakeng tsa basebetsi ba bongaka le bakuli indastering ea tlhokomelo ea bophelo mohlala.
Liaparo tse hloekileng tsa kamore li kenyelletsa lieta, lieta, liaprone, likoahelo tsa litelu, likatiba tse teteaneng, likoahelo, limaske tsa sefahleho, liaparo tsa masela/liaparo tsa laboratori, liaparo tsa ho apara, liatlana le likobo tsa menoana, li-hairnet, li-hood, matsoho le likoahelo tsa lieta. Mofuta oa liaparo tse hloekileng tsa kamore tse sebelisoang o lokela ho bonahatsa litlhaloso tsa kamore e hloekileng le sehlahisoa. Likamore tse hloekileng tse maemong a tlase li ka hloka feela lieta tse khethehileng tse nang le lithapo tse boreleli ka ho feletseng tse sa lateleng lerōle kapa litšila. Leha ho le joalo, lieta tse ka tlase ha lia lokela ho baka likotsi tse thellang kaha polokeho e lula e le ea bohlokoa. Sutu e hloekileng ea kamore hangata ea hlokahala bakeng sa ho kena ka phapusing e hloekileng. Likamore tse hloekileng tsa sehlopha sa 10,000 li ka sebelisa li-smocks tse bonolo, likoahelo tsa hlooho le lieta. Bakeng sa likamore tse hloekileng tsa sehlopha sa 10, ho hlokahala mekhoa e hlokolosi ea ho apara liaparo tse nang le sekoahelo se koetsoeng ka zipu, lieta, liatlana le sebaka se felletseng sa ho hema.
Melao-motheo ea Phallo ea Moea ka Kamoreng e Hloekileng
Likamore tse hloekileng li boloka moea o se nang likaroloana ka ho sebelisa lifilthara tsa HEPA kapa ULPA tse sebelisang melaoana ea laminar kapa ea phallo ea moea e ferekantsoeng. Litsamaiso tsa phallo ea moea tse nang le laminar, kapa tse nang le tataiso e le 'ngoe, li lebisa moea o sefiloeng tlase molapong o sa fetoheng. Litsamaiso tsa phallo ea moea tse nang le laminar hangata li sebelisoa ho pholletsa le siling ho boloka phallo e le 'ngoe e sa fetoheng. Litekanyetso tsa phallo ea laminar hangata li boleloa liteisheneng tsa mosebetsi tse nkehang habobebe (li-hood tsa LF), 'me li laeloa likamoreng tse hloekileng tse arotsoeng ka ISO-1 ho ea ho ISO-4.
Moralo o nepahetseng oa kamore e hloekileng o akaretsa sistimi eohle ea kabo ea moea, ho kenyeletsoa le litokisetso tsa ho khutlisa moea o lekaneng, o theohelang tlase. Liphaposing tse otlolohileng, sena se bolela tšebeliso ea ho khutlisa moea o leboteng le tlase ho potoloha sebaka. Litšebelisong tsa phallo e otlolohileng, ho hloka tšebeliso ea ho khutlisa moea moeling o tlase oa ts'ebetso. Tšebeliso ea ho khutlisa moea o kentsoeng siling e hanyetsana le moralo o nepahetseng oa sistimi ea kamore e hloekileng.
Lihlopha tsa Likamore tse Hloekileng
Likamore tse hloekileng li arotsoe ka hore na moea o hloekile hakae. Ho Federal Standard 209 (A ho isa ho D) ea USA, palo ea likaroloana tse lekanang le tse fetang 0.5µm le tse fetang 0.5µm e lekanngoa ka cubic foot e le 'ngoe ea moea, 'me palo ena e sebelisoa ho arola kamore e hloekileng. Lebitso lena la metric le boetse le amoheloa phetolelong ea morao-rao ea 209E ea Standard. Federal Standard 209E e sebelisoa ka hare ho naha. Tekanyetso e ncha ke TC 209 ho tsoa Mokhatlong oa Maemo a Machaba. Litekanyetso ka bobeli li arola kamore e hloekileng ka palo ea likaroloana tse fumanoang moeeng oa laboratori. Litekanyetso tsa karohano ea kamore e hloekileng FS 209E le ISO 14644-1 li hloka litekanyo tse itseng tsa palo ea likaroloana le lipalo ho arola boemo ba bohloeki ba kamore e hloekileng kapa sebaka se hloekileng. UK, British Standard 5295 e sebelisoa ho arola likamore tse hloekileng. Tekanyetso ena e se e tla nkeloa sebaka ke BS EN ISO 14644-1.
Likamore tse hloekileng li arotsoe ho latela palo le boholo ba likaroloana tse lumelloang ka bophahamo ba moea. Lipalo tse kholo tse kang "sehlopha sa 100" kapa "sehlopha sa 1000" li bua ka FED_STD-209E, 'me li bontša palo ea likaroloana tse boholo ba 0.5 µm kapa tse kholoanyane tse lumelloang ka foot ea cubic ea moea. Tekanyetso e boetse e lumella ho kenella, kahoo hoa khoneha ho hlalosa mohlala "sehlopha sa 2000."
Linomoro tse nyane li bua ka maemo a ISO 14644-1, a hlalosang logarithm ea desimali ea palo ea likaroloana tse 0.1 µm kapa tse kholoanyane tse lumelloang ka mithara ea cubic ea moea. Kahoo, mohlala, kamore e hloekileng ea sehlopha sa 5 sa ISO e na le likaroloana tse ka bang 105 = 100,000 ka m³.
Ka bobeli FS 209E le ISO 14644-1 li nka kamano ea log-log pakeng tsa boholo ba likaroloana le mahloriso a likaroloana. Ka lebaka leo, ha ho na ntho e kang mahloriso a likaroloana a lefela. Moea o tloaelehileng oa kamore o ka ba sehlopha sa 1,000,000 kapa ISO 9.
Maemo a Kamore e Hloekileng ea ISO 14644-1
| Sehlopha | Boholo ba Likaroloana/m3 | FED STD 209EEe lekanang | |||||
| >=0.1 µm | >=0.2 µm | >=0.3 µm | >=0.5 µm | >=1 µm | >=5 µm | ||
| ISO 1 | 10 | 2 | |||||
| ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
| ISO 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | Sehlopha sa 1 | |
| ISO 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | Sehlopha sa 10 | |
| ISO 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 | Sehlopha sa 100 |
| ISO 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 | Sehlopha sa 1,000 |
| ISO 7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | Sehlopha sa 10,000 | |||
| ISO 8 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | Sehlopha sa 100,000 | |||
| ISO 9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | Moea oa Kamore | |||
Nako ea poso: Hlakubele-29-2023